3D Line Scan
NL-1
광삼각 측정모듈
고속 측정이 가능한 3D 라인스캔 솔루션
이 제품은 광택 있는 표면에 대해 3D 측정을 수행할 수 있으며, 다양한 높이
를 고속으로 측정할 수 있습니다. 이는 양산에 적합한 제품으로,
웨이퍼의 돌출 높이 수준을 측정할 수 있으며, 높은 내진성을 갖추어
다양한 산업 분야에 적용 가능한 솔루션입니다
Specifications
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측정모델 측정기술 테스트내용 측정데이터
WSI간섭계 대면적 측정
FOV 확대 적용
Micro Bump Height
단층 박막 두께 측정
PCB 미세 패턴
가공 표면 거칠기 측정
센서 단차 측정
Free-Form Metrology
제품 곡면 각도에 따라 분할 검사도 가능함
렌즈, 유리 표면 검사 및 형상 측정
OLED 표면 검사 및 형상 측정
웨이퍼 표면 검사 및 형상 측정
투명, 반투명 제품의 실시간 두께 측정
Multi Ch. 적용 가능
웨이퍼(실리콘, 사파이어) 두께 측정
유리 및 필름 두께 측정